[实用新型]批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置

说明书

本实用新型公开一种批次基板干燥设备，包括一槽体、一晶舟、以及一基板干燥风刀装置。所述晶舟设置在所述槽体内，且用于承载多片基板。所述基板干燥风刀装置，设置在所述容室内，位于所述晶舟上方，且包括多个风刀单元。所述各所述风刀单元具有弧形气室具弧形出风口以输出弧形风刀到基板上。所述基板干燥风刀装置可吹出立体状片状的多道风刀以均匀快速地干燥基板。

技术领域

本实用新型关于一种基板干燥设备，尤其指一种批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置，其可吹出立体状片状的多道风刀以均匀快速地干燥基板。

背景技术

请参照图1，现有技术的批次基板干燥制程，首先将基板91与晶舟92 设置在一槽体90中，并且利用槽体90内的高温去离子水浸泡基板91与晶舟 92，接着以升降机构(图中未示)将基板91与晶舟92由高温去离子水中慢速向上拉起，并使基板91与晶舟92离开高温去离子水的液面后停置一段时间，让大部分水分向下滴落及藉由高温蒸发，最后以设置在槽体90内的左右两侧壁的吹气装置93斜向吹出热氮气吹干并去除基板91上的残留水分。所述吹气装置93为设置在槽体90一侧的热气管，所述热气管上形成有多个朝向基板91一侧的喷气子管931以对朝向基板91喷出热氮气。

然而，由于上述热气管的喷气子管931所喷出的热氮气以线性热气束的型态吹向基板91，所述线性热气束过于集中而趋近一维的型态，而非以三维力的型态呈现，故线性热气束施加在基板91上的接触面积小而集中，难以全面性的吹拂基板91的大部分表面，导致所述吹气装置93难以全面且均匀的对基板91的各处进行吹拂干燥。此外，槽体90内两侧的吹气装置93所吹出的斜向交叉气束相互干扰而导致斜向交叉的气束在到达基板91之前先相互冲散而无法有效地对基板91进行吹拂，因此上述批次基板干燥制程中常发生所吹出的热氮气无法对基板快速干燥、干燥不均匀或干燥不完全等问题。

故，有必要提供一种批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置，以解决现有技术所存在的问题。

实用新型内容

本实用新型创作人有鉴于现有技术的批次基板干燥制程所使用的吹气装置所产生的热风为线性束状而非立体状故所吹出的热氮气无法对基板快速干燥、干燥不均匀或干燥不完全等问题，为改良其不足与缺失，进而创作出一种批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置。

本实用新型主要目的在于提供一种批次基板干燥设备，其可吹出立体状片状的多道风刀以均匀快速地干燥基板。

为达上述目的，本实用新型批次基板干燥设备包括：

一槽体，其内形成一容室；

一晶舟，以可拆卸方式设置在所述容室内，且用于承载多片基板；以及

一基板干燥风刀装置，设置在所述容室内，位于所述晶舟上方，且包括：

多个风刀单元，所述多个风刀单元相互并排设置，各所述风刀单元具有一弧形气室，所述弧形气室具有一弧形出风口，其中所述弧形气室用于产生立体弧形风刀并将所述立体弧形风刀吹送到所述多个基板的至少其中之一上；以及

一主供气管，连接所述多个风刀单元，并用于连接一外部气源，以对所述多个弧形气室供气。

在本实用新型一实施例中，所述多个风刀单元以可拆卸方式相互并排设置；各所述风刀单元具有一弧形片体以及一弧形间隔块，所述弧形间隔块突出形成在所述弧形片体的正面，位于所述弧形片体的上缘，所述弧形气室形成在所述弧形片体的正面，位于所述弧形间隔块的下方，且位于所述弧形片体的下缘，各所述弧形气室用于产生向下的立体弧形风刀；所述主供气管通过所述多个弧形间隔块连通所述多个弧形气室。

在本实用新型一实施例中，各所述弧形间隔块上贯穿形成有一连通孔，所述连通孔与所述弧形气室相连通；所述主供气管内形成有一主供气孔，在所述主供气管上沿径向形成有多个与所述主供气孔相连通的供气支管，所述多个供气支管分别以可拆卸方式设置在所述多个连通孔，且用于对所述多个弧形气室供气。