[实用新型]一种多晶硅片高效清洗装置有效
| 申请号： | 201920081401.2 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209829682U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李广森 | 申请（专利权）人： | 安徽华顺半导体发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677;F26B23/06;F26B25/00;B01D29/03;B01D35/02 |
| 代理公司： | 34141 合肥汇融专利代理有限公司 | 代理人： | 张雁 |
| 地址： | 239300 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体涉及一种多晶硅片高效清洗装置，包括底座箱和底座箱上端安装的清洗箱，所述底座箱的内腔对称转动安装有两个转动辊，且两个转动辊通过传输带传动连接，其中一个传输带的后端到达底座箱的外腔并通过联轴器安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机固定安装在底座箱的侧壁上。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，有效的解决了传统的多晶硅片清洗装置在进行清洗时不仅会浪费大量的水源，而且需要加工人员打开清洗装置的外壳将多晶硅片放入清洗，无法做到自动循环清洗，清洗效率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 底座箱 多晶硅片 清洗 本实用新型 清洗装置 伺服电机 传输带 转动辊 高效清洗装置 传动连接 加工设备 清洗效率 转动安装 自动循环 上端 传统的 多晶硅 联轴器 清洗箱 输出端 侧壁 放入 内腔 外腔 对称 水源 加工 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅片高效清洗装置，包括底座箱和底座箱上端安装的清洗箱，其特征在于：所述底座箱的内腔对称转动安装有两个转动辊，且两个转动辊通过传输带传动连接，其中一个转动辊的后端到达底座箱的外腔并通过联轴器安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机固定安装在底座箱的侧壁上，所述传输带的上端贯穿底座箱上端开设的传输通孔并到达底座箱的外腔，所述传输带的下方设有倒台型集水盒，且倒台型集水盒固定安装在底座箱的内底壁上，所述清洗箱的内腔设有清洗装置，且清洗装置的下方设有多晶硅片盒，所述多晶硅片盒放置在传输带的上端；/n所述清洗装置包括连接管，所述连接管的一端延伸入倒台型集水盒的内腔下部，且连接管的另一端到达底座箱的外腔并延伸入水箱的内腔下部，所述水箱安装在底座箱的侧壁上，且水箱的内腔中部安装有过滤网，所述过滤网的上方安装有抽水管，且抽水管的另一端贯穿水箱的顶壁延伸入清洗箱的内腔并贯通连接有分流盘，所述抽水管上安装有水泵，所述分流盘的下端安装有多个喷嘴，且分流盘通过连接件安装在清洗箱的内顶壁上。/n
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