[实用新型]一种多晶硅片高效清洗装置

权利要求书

1.一种多晶硅片高效清洗装置，包括底座箱和底座箱上端安装的清洗箱，其特征在于：所述底座箱的内腔对称转动安装有两个转动辊，且两个转动辊通过传输带传动连接，其中一个转动辊的后端到达底座箱的外腔并通过联轴器安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机固定安装在底座箱的侧壁上，所述传输带的上端贯穿底座箱上端开设的传输通孔并到达底座箱的外腔，所述传输带的下方设有倒台型集水盒，且倒台型集水盒固定安装在底座箱的内底壁上，所述清洗箱的内腔设有清洗装置，且清洗装置的下方设有多晶硅片盒，所述多晶硅片盒放置在传输带的上端；

所述清洗装置包括连接管，所述连接管的一端延伸入倒台型集水盒的内腔下部，且连接管的另一端到达底座箱的外腔并延伸入水箱的内腔下部，所述水箱安装在底座箱的侧壁上，且水箱的内腔中部安装有过滤网，所述过滤网的上方安装有抽水管，且抽水管的另一端贯穿水箱的顶壁延伸入清洗箱的内腔并贯通连接有分流盘，所述抽水管上安装有水泵，所述分流盘的下端安装有多个喷嘴，且分流盘通过连接件安装在清洗箱的内顶壁上。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述喷嘴的数量多于等于12个，且多个喷嘴呈环形阵列分布，多个喷嘴均与分流盘的下端之间设有各不相同的倾斜角度。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述传输带为尼龙带，且传输带上开设有多个渗漏孔。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述多晶硅片盒的侧壁上平行开设有多个插槽，且多晶硅片盒的底壁上开设有多个排水孔。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱的内顶壁上通过电动伸缩杆安装有电热板，且电热板位于清洗装置的输出侧。

6.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱的前后侧壁上开设有贯通的排风孔，且位于后侧的排风孔上安装有抽风机，位于前侧的排风孔上安装有进气栅格。

7.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱的侧壁上安装有控制面板，且控制面板上设有显示屏和控制按钮，控制面板内置有PLC控制器。

8.如权利要求1所述的一种多晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述水箱的侧壁下部贯通插设有收集管，且收集管上安装有收集阀门。