[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201920073200.8 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN209412308U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郭武明;王海新;蒲吉斌;王立平;张学东;郑文茹;吴斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 叶蕙;王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括依次连接的动力输入轴、万向节、支撑架及转盘，所述动力输入轴用于提供动力，所述动力输入轴和万向节驱动转盘转动，待镀膜工件在所述转盘中，随所述转盘的转动而转动，以实现工件的镀膜。本实用新型中的真空镀膜装置，能够满足轴承滚珠等球形或类球形工件的真空镀膜需求，工件的整个球面可以均匀镀膜。镀膜后工件表面的表面圆度、粗糙度及膜层厚度能得到保证，解决了镀膜不均匀及效果差的问题。同时可用于不同直径的球形工件的真空镀膜，装置体积小，结构简单，实用性、通用性强，镀膜工件数量多，镀膜品质好，成品率高，可以在空间有限的镀膜设备真空室内放置多个镀膜装置，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜装置 动力输入轴 镀膜 转盘 本实用新型 真空镀膜 转动 球面 待镀膜工件 万向节驱动 表面圆度 镀膜工件 镀膜品质 镀膜设备 镀膜装置 工件表面 均匀镀膜 球形工件 通用性强 依次连接 轴承滚珠 转盘转动 不均匀 成品率 粗糙度 类球形 体积小 万向节 支撑架 可用 膜层 室内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括依次连接的动力输入轴、万向节、支撑架及转盘，所述动力输入轴用于提供动力，所述动力输入轴和万向节驱动转盘转动，待镀膜工件在所述转盘中，随所述转盘的转动而转动，以实现工件的镀膜。
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