[实用新型]一种真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括依次连接的动力输入轴、万向节、支撑架及转盘，所述动力输入轴用于提供动力，所述动力输入轴和万向节驱动转盘转动，待镀膜工件在所述转盘中，随所述转盘的转动而转动，以实现工件的镀膜。本实用新型中的真空镀膜装置，能够满足轴承滚珠等球形或类球形工件的真空镀膜需求，工件的整个球面可以均匀镀膜。镀膜后工件表面的表面圆度、粗糙度及膜层厚度能得到保证，解决了镀膜不均匀及效果差的问题。同时可用于不同直径的球形工件的真空镀膜，装置体积小，结构简单，实用性、通用性强，镀膜工件数量多，镀膜品质好，成品率高，可以在空间有限的镀膜设备真空室内放置多个镀膜装置，提高效率。

技术领域

本实用新型属于镀膜装置技术领域，具体涉及一种真空镀膜装置。

背景技术

球形工件因其转动灵活、连接方便等优点，日渐受到设备、转向等企业的青睐，轴承中的滚珠就是球形工件的典型代表。轴承主要用于支撑机械旋转体，可以在使用过程中降低机械载荷及摩擦系数，直接决定着重大装备和主机产品的性能和可靠性，被誉为装备制造的心脏部件，滚珠是轴承的核心部件，是机械装备的心脏的心脏。

真空镀膜技术是在真空条件下，利用气体放电使气体电离，然后通过蒸发或轰击高纯靶材，将其均匀沉积在所需镀膜的基体表面的方法，包括磁控溅射、离子束溅射、脉冲激光沉积、热蒸发、电子束蒸发等。

球形工件的真空镀膜一直是行业难题，因为真空镀膜的工件都需要有夹具夹装，将工件固定，这样必然造成部分部位被遮盖而出现漏镀和镀膜不均，而滚珠等球形工件需要整个球体均匀完整镀膜。因此传统夹具不能适应球形工件的镀膜需求，而设计一种简单、普实的球形工件专用夹具是非常必要的。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜装置，以克服现有技术中的不足。

为实现前述目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种真空镀膜装置，包括依次连接的动力输入轴、万向节、支撑架及转盘，所述动力输入轴用于提供动力，所述动力输入轴和万向节驱动转盘转动，待镀膜工件在所述转盘中，随所述转盘的转动而转动，以实现工件的镀膜。

在一些实施例中，所述转盘呈开口状。

在一些实施例中，所述转盘上设有多个孔洞。

在一些实施例中，所述转盘为类半球形。

在一些实施例中，所述转盘与水平面呈0°-45°的夹角。

在一些实施例中，所述动力输入轴和万向节驱动转盘自转，待镀膜工件随所述转盘的自转而进行自转和/或公转。

在一些实施例中，所述真空镀膜装置位于真空镀膜腔体内。

在一些实施例中，所述动力输入轴用于提供动力，并通过万向节将力矩传递至所述转盘。

在一些实施例中，所述转盘匀速转动，待镀膜工件随所述转盘的匀速转动而匀速转动。

在一些实施例中，所述待镀膜工件的形状为球形和/或类球形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果包括：

本实用新型的真空镀膜装置，能够满足轴承滚珠等球形或类球形工件的抗磨减磨真空镀膜需求，工件的整个球面可以均匀镀膜。镀膜后工件表面的表面圆度、粗糙度及膜层厚度能得到保证，解决了镀膜不均匀及效果差的问题。

本实用新型可用于不同直径的球形工件的真空镀膜，装置体积小，结构简单，实用性、通用性强，镀膜工件数量多，镀膜品质好，成品率高。可以在空间有限的镀膜设备真空室内放置多个镀膜装置，提高效率。

附图说明