[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201920073200.8 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN209412308U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郭武明;王海新;蒲吉斌;王立平;张学东;郑文茹;吴斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 叶蕙;王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜装置 动力输入轴 镀膜 转盘 本实用新型 真空镀膜 转动 球面 待镀膜工件 万向节驱动 表面圆度 镀膜工件 镀膜品质 镀膜设备 镀膜装置 工件表面 均匀镀膜 球形工件 通用性强 依次连接 轴承滚珠 转盘转动 不均匀 成品率 粗糙度 类球形 体积小 万向节 支撑架 可用 膜层 室内 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括依次连接的动力输入轴、万向节、支撑架及转盘，所述动力输入轴用于提供动力，所述动力输入轴和万向节驱动转盘转动，待镀膜工件在所述转盘中，随所述转盘的转动而转动，以实现工件的镀膜。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述转盘呈开口状。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述转盘上设有多个孔洞。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述转盘为类半球形。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述转盘与水平面呈0°-45°的夹角。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述动力输入轴和万向节驱动转盘自转，待镀膜工件随所述转盘的自转而进行自转和/或公转。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述真空镀膜装置位于真空镀膜腔体内。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述动力输入轴用于提供动力，并通过万向节将力矩传递至所述转盘。
9.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述转盘匀速转动，待镀膜工件随所述转盘的匀速转动而匀速转动。
10.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述待镀膜工件的形状为球形和/或类球形。
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