[实用新型]硅片的分片送料结构

摘要

本申请公开了一种硅片的分片送料结构，包括设置于供料水槽的分片机构和送料机构，所述供料水槽至少包括供料槽体和接渣槽体，所述供料槽体和接渣槽体之间设有隔板，所述分片机构包括分片上料装置和吸片上料装置，所述分片上料装置设置于所述供料槽体内，并固定于所述隔板，所述吸片上料装置设置于所述分片上料装置背离所述隔板的一侧的上方，所述送料机构通过底板设置于接渣槽体之上，所述送料结构包括碎片检测装置、碎片剔除装置、翻转检测装置和出料装置，所述碎片剔除装置传动连接于所述分片上料装置。该硅片的分片送料结构可实现硅片自动分片送料，在分片送料过程可以自动检测并剔除碎片，提高工作效率。

主权项

1.一种硅片的分片送料结构，其特征在于，包括设置于供料水槽的分片机构和送料机构；所述供料水槽水平设置于机架，所述供料水槽至少包括供料槽体和接渣槽体，所述供料槽体和接渣槽体之间设有隔板；所述分片机构包括分片上料装置和吸片上料装置，所述分片上料装置设置于所述供料槽体内，并固定于所述隔板，所述吸片上料装置设置于所述分片上料装置背离所述隔板的一侧的上方，所述吸片上料装置固定于外部机架；所述送料机构通过底板设置于接渣槽体之上，所述送料机构包括碎片检测装置、碎片剔除装置、翻转检测装置和出料装置，所述碎片剔除装置传动连接于所述分片上料装置，所述碎片剔除装置可翻转设置于所述底板，所述碎片剔除装置和出料装置相邻设置于所述底板，所述碎片检测装置设置于所述碎片剔除装置靠近所述隔板的一端的正上方，所述翻转检测装置设置于所述碎片剔除装置靠近所述出料装置的一端的正上方。