[实用新型]硅片的分片送料结构

权利要求书

1.一种硅片的分片送料结构，其特征在于，包括设置于供料水槽的分片机构和送料机构；

所述供料水槽水平设置于机架，所述供料水槽至少包括供料槽体和接渣槽体，所述供料槽体和接渣槽体之间设有隔板；

所述分片机构包括分片上料装置和吸片上料装置，所述分片上料装置设置于所述供料槽体内，并固定于所述隔板，所述吸片上料装置设置于所述分片上料装置背离所述隔板的一侧的上方，所述吸片上料装置固定于外部机架；

所述送料机构通过底板设置于接渣槽体之上，所述送料机构包括碎片检测装置、碎片剔除装置、翻转检测装置和出料装置，所述碎片剔除装置传动连接于所述分片上料装置，所述碎片剔除装置可翻转设置于所述底板，所述碎片剔除装置和出料装置相邻设置于所述底板，所述碎片检测装置设置于所述碎片剔除装置靠近所述隔板的一端的正上方，所述翻转检测装置设置于所述碎片剔除装置靠近所述出料装置的一端的正上方。

2.根据权利要求1所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述分片上料装置包括第一安装座、第一滚轮轴和主分片装置，所述第一滚轮轴和主分片装置通过所述第一安装座固定于所述隔板，所述第一滚轮轴传动连接于所述碎片剔除装置，所述主分片装置底部设有第一注水口，所述主分片装置背离所述第一安装座的一侧端面内凹设有若干第一出水口，所述第一注水口连通于所述第一出水口。

3.根据权利要求2所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述第一滚轮轴和所述碎片剔除装置之间设有第二滚轮轴，所述第二滚轮轴转动设置于所述隔板，所述第二滚轮轴高于所述第一滚轮轴设置。

4.根据权利要求1所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述吸片上料装置包括辅助滚轮组、吸片装置、第一电机、两上料滚轮组和两侧分片装置，所述辅助滚轮组固定于吸片装置的一侧，所述吸片装置固定于所述分片上料装置的正上方，所述第一电机通过第一固定座固定于机架，所述吸片装置通过第一连接杆固定于所述第一固定座，所述两上料滚轮组转动设置于所述吸片装置的两侧，并传动连接于所述第一电机，两所述侧分片装置分别通过第二固定座固定于所述吸片装置的两侧，所述吸片装置上端设有负压接口，所述吸片装置的底部设有吸水口，所述负压接口连通于所述吸水口，所述侧分片装置靠近隔板的一侧端面设有第二注水口，所述侧分片装置靠近所述辅助滚轮组的一侧设有第二出水口，所述第二注水口连通于所述第二出水口。

5.根据权利要求4所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述上料滚轮组包括一主动滚轮和两从动滚轮，所述主动滚轮和两从动滚轮之间传动连接，两所述第一从动滚轮和所述辅助滚轮组设置于同一斜面内。

6.根据权利要求1所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述碎片检测装置包括第一支架、第一安装板和四个第一感应器，所述第一支架固定于所述底板，所述第一安装板通过所述第一支架设置于所述碎片剔除装置靠近所述隔板的一端的正上方，四所述第一感应器设置于所述第一安装板的四角，四所述第一感应器与硅片的四角对应设置。

7.根据权利要求1所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述底板凹设有与所述碎片剔除装置对应设置的凹槽，所述碎片剔除装置包括翻转架和翻转气缸，所述翻转气缸的两端分别铰接于所述底板和翻转架，所述翻转气缸设置于所述底板之下，所述翻转架的两端分别设有可转动设置的第二滚轮轴和第三滚轮轴，所述第二滚轮轴和第三滚轮轴之间传动连接，所述第二滚轮轴传动连接于所述分片上料装置，所述第二滚轮轴的两端通过分别通过轴承座固定于所述底板，所述第二滚轮轴的一端传动连接于第二电机，所述第二电机固定于所述底板。

8.根据权利要求7所述的硅片的分片送料结构，其特征在于：所述翻转检测装置包括第二支架、第二安装板和第二感应器，所述第二支架固定于所述底板，所述第二安装板通过所述第二支架设置于所述第三滚轮轴的正上方，所述第二感应器固定于所述第二安装。