[实用新型]刻蚀液气泡改善装置及浓度测量系统有效
| 申请号： | 201920021511.X | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN209656387U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈晓果 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01F1/52 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张芳;刘芳<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种刻蚀液气泡改善装置及浓度测量系统。刻蚀液气泡改善装置包括采样泵、增压泵和第一流量调节阀，所述增压泵设置在所述采样泵的出口端，所述增压泵的出口端设有回流管路和浓度测量管路，所述第一流量调节阀设置在所述回流管路上。本实用新型通过增压泵和第一流量调节阀的设置，提高了气泡排出的效率，同时极大的降低刻蚀液浓度测量管路中的气泡含量，使得刻蚀液的浓度的测量和控制更加精准。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀液 增压泵 流量调节阀 本实用新型 改善装置 浓度测量 采样泵 出口端 浓度测量系统 测量和控制 回流管路 回流管 排出 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀液气泡改善装置，包括采样泵，其特征在于，还包括增压泵和第一流量调节阀，所述增压泵设置在所述采样泵的出口端，所述增压泵的出口端设有回流管路和浓度测量管路，所述第一流量调节阀设置在所述回流管路上。/n
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