[实用新型]刻蚀液气泡改善装置及浓度测量系统有效
| 申请号： | 201920021511.X | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN209656387U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈晓果 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01F1/52 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张芳;刘芳<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻蚀液 增压泵 流量调节阀 本实用新型 改善装置 浓度测量 采样泵 出口端 浓度测量系统 测量和控制 回流管路 回流管 排出 | ||
1.一种刻蚀液气泡改善装置，包括采样泵，其特征在于，还包括增压泵和第一流量调节阀，所述增压泵设置在所述采样泵的出口端，所述增压泵的出口端设有回流管路和浓度测量管路，所述第一流量调节阀设置在所述回流管路上。
2.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述增压泵与所述采样泵之间设有第二流量调节阀。
3.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述回流管路的通径小于所述浓度测量管路的通径。
4.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述回流管路的压力小于所述浓度测量管路的压力。
5.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述浓度测量管路上设有流量计。
6.根据权利要求5所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述流量计为浮子流量计。
7.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述浓度测量管路上设有第三流量调节阀。
8.一种刻蚀液浓度测量系统，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的刻蚀液气泡改善装置。
9.根据权利要求8所述的刻蚀液浓度测量系统，其特征在于，还包括位于所述浓度测量管路上的冷却装置，所述冷却装置设置在所述增压泵的出口端。
10.根据权利要求8所述的刻蚀液浓度测量系统，其特征在于，还包括刻蚀液储存罐，多个所述刻蚀液储存罐通过独立的泵送管道分别与所述采样泵连接。
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