[发明专利]一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构在审
| 申请号： | 201911415114.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111031461A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;宫岛博志;佐野豊 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，该防尘结构包括网格膜、第一载体和第二载体，所述第一载体具有贯通的第一开口，所述第二载体具有贯通的第二开口；所述第一载体和第二载体分别设置在所述网格膜的两侧，所述网格膜间隔于所述第一开口和第二开口之间；所述第一载体和/或第二载体被配置为用于固定在MEMS器件上。本发明的所述第一载体和第二载体的设置对所述网格膜起到很好的支撑和保护作用，可以避免所述网格膜的直接接触损坏，而所述第一开口和第二开口与所述网格膜上的通孔相对设置，给空气提供了顺畅的通道，便于声音的传递。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 器件 防尘 结构 麦克风 封装 | ||
【主权项】：
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