[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头及其使用方法有效
| 申请号： | 201911405848.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113118966B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;刘远航;孟松林;孙张璞 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/005;B24B49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于化学机械抛光的承载头，包括：连轴盘、平衡架、承载盘、环状弹性膜、第一夹环和第二夹环；所述第一夹环将所述环状弹性膜的外缘夹紧结合至所述承载盘并且所述第二夹环将所述环状弹性膜的内缘夹紧结合至所述连轴盘；所述平衡架的中轴部滑动密封地设置于所述连轴盘的中心通孔内并可以通过其底盘部及翼缘部带动承载盘相对于连轴盘上下移动；所述承载盘由非导电材料制成并且其上方固定有配重。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械抛光 承载 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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