[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头及其使用方法

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光的承载头，包括：连轴盘、平衡架、承载盘、环状弹性膜、第一夹环和第二夹环；所述第一夹环将所述环状弹性膜的外缘夹紧结合至所述承载盘并且所述第二夹环将所述环状弹性膜的内缘夹紧结合至所述连轴盘；所述平衡架的中轴部滑动密封地设置于所述连轴盘的中心通孔内并可以通过其底盘部及翼缘部带动承载盘相对于连轴盘上下移动；所述承载盘由非导电材料制成并且其上方固定有第一配重环；所述连轴盘上固定有配重；所述连轴盘的上表面可拆卸地连接有第二配重环，所述第二配重环由金属材料制成；根据承载头的转动惯量确定第一配重环及第二配重环的材质、体积和外形。

2.如权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述第一夹环由金属材料制成。

3.如权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述第一配重环可拆卸地连接于承载盘的上表面，所述第一配重环由金属材料制成。

4.如权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述第二夹环由金属材料制成。

5.一种用于化学机械抛光的承载头的使用方法，适用于如权利要求1-4中任一项所述的承载头，包括如下步骤：

S1.确定非导电材料制造的承载盘的重量；

S2.根据承载盘的重量确定需要增加的配重值；

S3.根据需要增加的配重值确定第一夹环的材质和体积；

S4.根据承载头的转动惯量确定第一夹环的外形。

6.一种用于化学机械抛光的承载头的使用方法，适用于如权利要求1-4中任一项所述的承载头，包括如下步骤：

S1.确定非导电材料制造的承载盘的重量；

S2.根据承载盘的重量确定需要增加的配重值；

S3.根据需要增加的配重值确定第一配重环的材质和体积；

S4.根据承载头的转动惯量确定第一配重环的外形。

7.如权利要求5或6所述的使用方法，其特征在于，还包括如下步骤：

S5.根据承载头的转动惯量确定第二夹环的材质、体积和外形。

8.如权利要求5或6所述的使用方法，其特征在于，还包括如下步骤：

S5.根据承载头的转动惯量确定第二配重环的材质、体积和外形。