[发明专利]轨道式晶圆清洗干燥整机流水线在审
| 申请号： | 201911388370.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111069169A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 曹七芳 | 申请（专利权）人： | 荆门微田智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 448000 湖北省荆门市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，包括机架、分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，第一保持轨道转动设有第一移料轨道，第二保持轨道转动设有第二移料轨道，还包括清洗槽和清洗干燥槽，清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理；本发明利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 轨道 式晶圆 清洗 干燥 整机 流水线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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