[发明专利]轨道式晶圆清洗干燥整机流水线

权利要求书

1.一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，其特征在于，包括有清洗干燥装置，所述清洗干燥装置一侧设有用于放料的放料机械手，另一侧设有用于取料的取料机械手。

2.根据权利要求1所述的一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，其特征在于，清洗干燥装置包括机架（1）、两个分别设于机架（1）左右两端的左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3），以及多个挂具机构（4）、并排设于机架（1）上且位于左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）之间的第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6），所述左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）均用于承载挂具机构（4）以及用于转移挂具机构（4），多个所述挂具机构（4）分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道（5）转动设置有第一移料轨道（7），所述第二保持轨道（6）转动设置有第二移料轨道（8），所述第一保持轨道（5）上还固定有用于驱动第一移料轨道（7）转动的第一驱动件（10），所述第二保持轨道（6）上还固定有用于驱动第二移料轨道（8）转动的第二驱动件（20）；

所述第一移料轨道（7）用于将左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上的挂具机构（4）转移至第一保持轨道（5）上，同时带动承载于第一保持轨道（5）上的挂具机构（4）步进式移动至右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）上；所述第二移料轨道（8）用于将右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）的挂具机构（4）转移至第二保持轨道（6），同时带动承载于第二保持轨道（6）上的挂具机构（4）步进式移动至左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上；

还包括并排设于机架（1）上的清洗槽（30）和清洗干燥槽（40），所述清洗槽（30）和清洗干燥槽（40）均位于第一保持轨道（5）或第二保持轨道（6）的下方，所述清洗干燥槽（40）的两内侧壁上设有喷气组件（50），所述喷气组件（50）用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。

3.根据权利要求1所述的一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，其特征在于，所述第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6）的结构相同，所述第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6）均包括两个并排且间隔设置的第一侧立板（60）以及两个对应设于两个第一侧立板（60）上的第二侧立板（70），第一侧立板（60）固定连接在机架（1）上，所述第二侧立板（70）固定在第一侧立板（60）的顶端；

所述第一移料轨道（7）与第二移料轨道（8）的结构相同，所述第一移料轨道（7）和第二移料轨道（8）均包括四个移料摆动架（80）以及两个移料定位板（90），四个所述移料摆动架（80）设于两个第一侧立板（60）之间、且呈矩形分布，所述移料摆动架（80）的一端转动连接在第一侧立板（60）上，所述移料摆动架（80）的另一端转动连接在移料定位板（90）上，每个所述移料定位板（90）的两端分别对应与移料摆动架（80）连接，所述第一驱动件（10）的输出端与第一移料轨道（7）的移料摆动架（80）传动连接，所述第二驱动件（20）的输出端与第二移料轨道（8）的移料摆动架（80）传动连接。

4.根据权利要求2所述的一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，其特征在于，所述第二侧立板（70）上间隔设有两个第一定位槽，所述移料定位板（90）上间隔设有三个第二定位槽，相邻两个第二定位槽的间隔距离与两个第一定位槽的间隔距离相等。

5.根据权利要求2所述的一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，其特征在于，所述左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）的结构相同，两者均包括直线电机本体和挂具转移板，所述直线电机本体固定在机架（1）上，所述挂具转移板的一端固定在直线电机本体的输出端，所述挂具转移板的另一端设有U形缺口，所述U形缺口的口径大于两个移料定位板（90）之间的距离。