[发明专利]一种复合金属网络透明导电电极制备方法有效
申请号: | 201911377451.6 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111180110B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 高进伟;朱燕波;尹钰鑫 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 宣国华;刘艳丽 |
地址: | 510006 广东省广州市广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种复合金属网络透明导电电极的制备方法,包括以下步骤:(1)以叶脉模板作为掩模版,在透明衬底上通过设置光刻胶、曝光和显影,制得叶脉凹槽状光刻胶模板,接着在叶脉凹槽状光刻胶模板上设置导电金属薄膜,并去除光刻胶,形成叶脉状金属网络透明导电电极;(2)进行亲水性处理;(3)在透明导电电极表面上设置龟裂薄膜,控制加热温度和保温时间,使龟裂薄膜自然龟裂;(4)在龟裂模板上设置导电金属薄膜;(5)去除龟裂模板并干燥,即得复合金属网络透明导电电极。该方法可解决叶脉状透明导电电极本身的线距宽、电荷传输中的死点问题以及龟裂模板制得的透明导电电极方阻较大,无法满足低表面电阻光电器件的应用需求等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 金属 网络 透明 导电 电极 制备 方法 | ||
【主权项】:
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