[发明专利]一种下电极组件及其等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201911355593.2 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN113035682B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 黄允文 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;章丽娟 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种下电极组件及其等离子体处理装置，该下电极组件包括：静电夹盘，其包括承载面，用于承载待处理基片；若干个升降销孔贯通静电夹盘；各升降销分别位于各个升降销孔内；多孔套位于各个升降销孔内，环绕设置于各升降销的周围，多孔套与升降销之间具有间隙，多孔套内具有若干个孔隙，孔隙与间隙连通；气浮通道位于静电夹盘内，与多孔套内的孔隙连通；气体输送装置用于向气浮通道内输送气体，使多孔套与升降销之间形成气膜。其优点是：通过气体输送装置向气浮通道内输送气体，使多孔套与升降销之间形成气膜，可避免升降销与升降销孔之间的摩擦，因此升降销与升降销孔的缝隙可缩至非常小，从而能够抵抗很高电势和能量而不产生电弧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 组件 及其 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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