[发明专利]一种在玻璃、陶瓷上制备具有氮化硅结合层杀菌膜的制造方法

摘要

本发明为一种在玻璃、陶瓷上制备具有氮化硅结合层杀菌膜的制造方法，整个过程不需加高温及在不损伤玻璃、陶瓷的前提下镀膜，使用硅靶和氮气体进行结合膜层镀制后再使用乙炔气体进行载体层镀制，玻璃、陶瓷包含的硅原子和镀膜内的硅原子有良好的结合力，结合膜层及载体层镀制完成后维持载体层启动并加入银靶溅射，使银离子均匀分布在碳化硅膜层中形成杀菌膜层，另外在镀膜过程中的工件挂在挂架上，自转的同时公转，使溅射过程成膜均匀并且能够避免局部温度过高损伤工件。健康，环保，既保留原玻璃、陶瓷的各种特性、外型、又起到了杀菌的功效，制作较为方便，设备投资较小，应用广泛。