[发明专利]一种在玻璃、陶瓷上制备具有氮化硅结合层杀菌膜的制造方法

说明书

本发明为一种在玻璃、陶瓷上制备具有氮化硅结合层杀菌膜的制造方法，整个过程不需加高温及在不损伤玻璃、陶瓷的前提下镀膜，使用硅靶和氮气体进行结合膜层镀制后再使用乙炔气体进行载体层镀制，玻璃、陶瓷包含的硅原子和镀膜内的硅原子有良好的结合力，结合膜层及载体层镀制完成后维持载体层启动并加入银靶溅射，使银离子均匀分布在碳化硅膜层中形成杀菌膜层，另外在镀膜过程中的工件挂在挂架上，自转的同时公转，使溅射过程成膜均匀并且能够避免局部温度过高损伤工件。健康，环保，既保留原玻璃、陶瓷的各种特性、外型、又起到了杀菌的功效，制作较为方便，设备投资较小，应用广泛。

技术领域

本发明涉及真空镀膜的技术领域，尤其是一种在玻璃、陶瓷工件上制备杀菌膜的方法。

背景技术

不管是玻璃用品如电子屏幕不管在手机、电脑、电视、汽车还是陶瓷用品如餐具、茶具、 洗手盆、浴缸在各行各业中的应用都相当广泛，使之成为我们工作或生活中很重要的一部分， 特别是一些智能化的电子产品，会产生大量的静电吸附。静电荷的产生会吸附空气中的灰尘和 细菌，而灰尘的长期积累又为细菌的滋长提供的有利环境，长此以往影响人们的身体健康。一 项科学研究表明，手机上携带的葡萄球菌、大肠杆菌等细菌是马桶的18倍。因此，需要经常对 电子产品玻璃工件及陶瓷工件进行表面清洁，去除由于静电而吸附在电子产品表面的灰尘和细 菌。而手机、电视、电脑的屏幕及陶瓷艺术装饰品更是灰尘和细菌的滋生地，并且由于其材料 的特殊性，简单的擦拭常常无法彻底清除屏幕及陶瓷制品上的灰尘和细菌，甚至长期以往会损 坏屏幕及陶瓷品外观，必须要使用特殊的清洁剂进行清洁，现代市场上的清洁剂只能简单清除 污垢，并不能防止细菌、病毒、臭味等有害气体及物质发臭并滋生出的细菌吸入人体的问题， 因此人们希望能够有一种有效的杀菌方式保护人们使用的玻璃电子屏幕及陶瓷制品。

现有技术公开了申请号为：CN201910500507.6的一种在玻璃上制备杀菌膜的方法主要采用 氧化硅作为杀菌膜层，其中通入的氧气对炉体造成很大伤害，在溅射银时炉内有大量氧气残留， 产生氧化银，降低了杀菌能力。

发明内容

本发明的主要目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种在玻璃、陶瓷上制备具有氮化 硅结合层杀菌膜的制造方法解决因采用氧化硅作为杀菌膜层，其中通入的氧气对炉体造成很大 伤害，在溅射银时炉内有大量氧气残留，产生氧化银，降低杀菌能力的问题。

为实现上述目的，按照本发明提供的技术方案是：所述在玻璃、陶瓷上制备具有氮化硅结 合层杀菌膜的制造方法包括如下步骤：

(1)预处理：将工件清洁干净并低温吹干；

(2)真空处理：预处理后的工件放上挂架并放入真空炉内，对金属挂架加载偏压，真空炉 内抽真空5.0x10^-3Pa，启动转盘，使工件在挂架上转动，同时挂架在真空炉内转动；

(3)结合膜层镀制：开启电源调至30-40V，占空比为20％-30％，通入氩气使真空度达到 25x10^-2Pa，启动硅靶和氮气，通入的氮气使真空度达到35x10^-2Pa，使工件表面形成氮化硅结合 膜层；

(4)载体层镀制：保持硅靶和关闭氮气，降低氩气流量，通入乙炔气体，使工件表面形成 碳化硅的载体层；

(5)杀菌膜层镀制：保持硅靶溅射，继续通入乙炔气体，同时启动银靶溅射在工件表面形 成碳化硅和银做成的杀菌膜层；