[发明专利]具有减少的边缘缺陷的铁电存储器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201911293015.0 申请日: 2019-12-16
公开(公告)号: CN112542460A 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 胡禺石 申请(专利权)人: 无锡拍字节科技有限公司
主分类号: H01L27/11507 分类号: H01L27/11507;H01L27/11514
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 李镝的
地址: 214000 江苏省无锡市新吴*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 公开了铁电存储器件和用于形成铁电存储器件的方法的实施例。在一个示例中,铁电存储单元包括第一电极、第二电极以及布置在第一电极与第二电极之间的铁电层。由第一电极和第二电极露出的边缘区被至少一个恢复层或阻挡层覆盖。
搜索关键词: 具有 减少 边缘 缺陷 存储 器件 及其 制造 方法
【主权项】:
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