[发明专利]气体管路系统及半导体设备在审
| 申请号： | 201911292685.0 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111322523A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 朱灿述;金志勋;徐康元 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种气体管路系统，用于排出及/或供应特定气体至腔室，气体管路系统包括至少两段管路及设于管路上的泵，气体管路系统还包括波纹管、外壳及载有试纸的气体检测装置，波纹管连接两段管路，外壳包围在波纹管外，气体检测装置设于外壳内且位于波纹管的一侧，试纸在气体检测装置内保持湿润，当有特定气体泄露至外壳内，试纸根据泄露的特定气体的酸碱度变化色彩，色彩的变化作为检测结果被观测。本发明的气体管路系统利用试纸检测特定气体泄漏，提高了检测结果的可视性，使得作业人员可以及时掌握泄漏情况，避免设备被污染及危害作业人员身体的情况，并且降低了检测成本。本发明还提供一种半导体设备，包括相连通的腔室及气体管路系统。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 管路 系统 半导体设备 | ||
【主权项】：
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