[发明专利]一种用于制备钙钛矿太阳电池的团簇式沉积系统在审
| 申请号： | 201911258163.9 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112952000A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;曹越先;王辉;杜敏永;秦炜;王开;焦玉骁;孙友名;段连杰;王立坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/48 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 116023 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及太阳电池生产工艺研发领域，特别涉及一种用于制备钙钛矿太阳电池的团簇式沉积系统。包括样品过渡舱、轨道式传输装置、悬臂式传输装置及多个薄膜材料制备腔室，其中多个薄膜材料制备腔室均与样品过渡舱连接，样品过渡舱集成有光谱分析功能，悬臂式传输装置设置于所述样品过渡舱内，轨道式传输装置置于一个或多个所述薄膜材料制备腔室内。本发明实现多种薄膜材料按设计顺序分层制备、处理、分析，最后完成钙钛矿太阳电池的整个制备过程。本系统优点在于集成度高，样品过渡腔配备有透明窗口，用于光谱分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 钙钛矿 太阳电池 团簇式 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院大连化学物理研究所，未经中国科学院大连化学物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911258163.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
