[发明专利]一种微镜及制作方法在审
| 申请号： | 201911256877.6 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN113023661A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微镜，所述微镜包括第一晶圆和第二晶圆，第一晶圆和第二晶圆键合成整体；所述第一晶圆表面设有空腔，所述第二晶圆表面设有至少一层器件层，所述器件层上设有若干金属层；所述第一晶圆具有所述空腔的表面设有二氧化硅薄膜，或者所述第二晶圆与所述第一晶圆连接的表面设有二氧化硅薄膜。本发明还公开了一种空腔具有倾斜面的微镜。本发明还公开了多种用于制作上述微镜的方法。采用本发明，具有不需要对晶圆进行倒置，也不需要制备额外保护层保护已加工完成的器件层，还可同时加工背腔与器件层，降低了成本，缩短了生产时间，提升了生产效率；通过内外气压平衡提高了方法的稳定性；对设备的对准精度要求小；以及适用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于觉芯电子（无锡）有限公司，未经觉芯电子（无锡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911256877.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
