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[发明专利]晶圆级光学窗口及制作方法和具有该光学窗口的微镜装置-CN201911256878.0有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆级光学窗口，包括：基材层，基材层具有相对设置的第一面和第二面；光学元件层，光学元件层集成于所述第一面和/或所述第二面的特定区域内。相应地，本发明提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置。本发明还提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置，包括晶圆级光学窗口，还包括：基底；MEMS微镜，MEMS微镜设置于所述基底上；支撑架，支撑架设置于晶圆级光学窗口与MEMS微镜之间。本发明通过在晶圆级光学窗口的特定区域上集成光学元件层，利用该集成有光学元件层的晶圆级光学窗口与MEMS微镜形成微镜装置，并将该微镜装置应用于各类光学系统中，能够实现包括散斑抑制、光束准直、聚光和扫描角度增大等功能。
晶圆级光学窗口制作方法具有装置

[发明专利]一种具有微纳结构的微镜、微镜制备方法及激光显示系统-CN201911255766.3有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种具有微纳结构的微镜、微镜制备方法及激光显示系统。本发明提供一种具有微纳结构的微镜，其包括基材层、微纳结构层和反射层，所述微纳结构层位于所述基材层的上方，且所述微纳结构层设置于所述基材层表面的特定区域内，所述微纳结构层为微透镜阵列或菲涅尔透镜阵列，所述反射层位于所述微纳结构层上方。本发明微镜的制备基于纳米压印技术或纳米打印技术或光刻胶热熔工艺，集成了曲面反射微纳结构，且微纳结构精度高、尺寸小，可实现更加均匀的微纳结构分布，使反射的各子光束能量更为均匀，使散斑抑制效果更佳。
一种具有结构制备方法激光显示系统

[发明专利]一种集成透镜阵列的微镜、微镜制备方法及激光显示系统-CN201911256973.0有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种集成透镜阵列的微镜，所述微镜包括基材层、反射层和透镜层，所述反射层设于所述基材层上方的特定区域内，所述透镜层位于所述反射层的上方，且所述透镜层为通过纳米压印或纳米打印或光刻胶热熔工艺制成；所述透镜层为微透镜阵列或菲涅尔透镜阵列。本发明透镜阵列层由纳米压印技术或纳米打印技术制造，其单元透镜的口径与精度高，散斑抑制效果好，同时，通过设计合理的微纳结构以及改进加工方式，降低光能损失，有利于进行激光显示。
一种集成透镜阵列制备方法激光显示系统

[发明专利]一种具有镜面振幅放大功能的微镜-CN201911252546.5有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有镜面振幅放大功能的微镜，包括依次设置的衬底层、掩埋层和器件层，器件层上设置有镜面、至少一个弹性件和至少一个驱动结构，镜面通过弹性件与驱动结构相连；驱动结构包括驱动板，驱动板上设置有多个刻蚀通孔，刻蚀通孔用于减小驱动板运动时的空气阻尼。本发明提供的具有镜面振幅放大功能的微镜可实现更大的镜面偏转幅度，其主要功能性结构适用于各种驱动方式的微镜。
一种具有振幅放大功能

[发明专利]一种基于光电反馈的微镜控制装置-CN201911252592.5有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光电反馈的微镜控制装置，包括微镜芯片、光电反馈模块、转接结构和控制模块；微镜芯片包括可动镜面和背腔；光电反馈模块包括光源和至少一个光电器件；可动镜面位于背腔顶部，背腔底部与转接结构连接，光源和至少一个光电器件位于背腔的底部且均设置在转接结构上；可动镜面能够将光源发出的光束反射回背腔底部形成光斑，至少一个光电器件用于根据光斑将可动镜面偏转的相位信息实时地转变为对应的光电信息，控制模块用于根据光电信息对微镜芯片和/或光电反馈模块进行控制。本发明适用范围广，性能稳定，灵敏度高，集成度高，适用于各类MEMS微镜装置芯片级和系统级的封装。
一种基于光电反馈控制装置

[发明专利]一种电磁式MEMS微镜装置及其制造方法-CN202110925627.8在审
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种电磁式MEMS微镜装置及其制造方法，包括反射镜(110)、可动框架(112)、固定结构(116)、第一扭转梁(115)和线圈组件；可动框架(112)包括第一表面，与第一表面相接的侧壁上设有第一卡槽结构(113)，线圈组件包括第一线圈(114)，第一线圈(114)沿第一卡槽结构(113)绕设于可动框架(112)；和/或，反射镜(110)包括第二表面，与第二表面相接的侧壁上设有第二卡槽结构(117)，线圈组件包括第二线圈(118)，第二线圈(118)沿第二卡槽结构(117)绕设于反射镜(110)。本申请电磁式MEMS微镜装置及其制造方法，采用MEMS工艺制备，可以大幅提升MEMS微镜的驱动线圈匝数，可以提升线圈的固定强度，在同等驱动电流下可以实现更大的偏转角度。
一种电磁式 mems 装置及其制造方法

[发明专利]一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法-CN201911253639.X有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法，包括框架、连接装置、电互连装置、电隔离装置和镜面，所述框架包括第一框架和第二框架，所述第一框架与第二框架通过连接装置活动连接，所述电隔离装置将所述框架划分为多个电隔离区间，所述电互连装置的端部位于不同的电隔离区间内，所述镜面活动设置于所述第一框架中；所述框架上包括电互连结构包括介质层和金属线，所述介质层和金属线堆叠排布在所述框架上，所述介质层为硅氧化物薄膜或硅氮化物薄膜，所述金属线材料为金，所述整体部件主要由刻蚀工艺形成，具有工作效率高，工艺稳定性高，可重复性好，生产成本低，易于进行大批量生产等优点。
一种具有创新互连结构装置制作方法

[实用新型]一种压缩整体高度尺寸的扫描振镜驱动装置-CN202222245809.3有效
发明人：熊笔锋;马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本实用新型涉及扫描振镜技术领域，具体涉及一种压缩整体高度尺寸的扫描振镜驱动装置；包括振镜芯片、磁驱动组件和支撑结构，振镜芯片包括镜面、锚定结构、扭转梁以及设有金属线圈的可动框架，扭转梁包括一对快轴梁和一对慢轴梁，磁驱动组件包括磁体组件和导磁组件，共同配合提供至少一个驱动磁场，其中一个方向的磁体组件位于振镜芯片下方，且导磁组件在引导磁感线分布的同时还作为芯片支撑结构与外壳使用，并未占用额外空间，因此本申请在大空间范围内提供较强的磁场强度的同时，将电磁振镜的整体高度尺寸压缩到极限，实现了降低激光雷达整机尺寸的技术效果，有助于提升激光雷达的市场竞争力。
一种压缩整体高度尺寸扫描驱动装置

[发明专利]一种控制微镜偏转的方法及装置-CN201911252569.6有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种控制微镜偏转的方法及装置，所述方法包括获取温度反馈信息，响应于外部控制电路产生的控制信号，根据所述温度反馈信息与预先标定的电压温度对应表生成驱动信号，可以维持微镜芯片在全工作温度下保持标准工作状态下的偏转角度；所述装置包括微镜芯片和驱动信号发生模块，通过产生第一驱动信号和第二驱动信号，第一驱动信号和第二驱动信号构成叠加信号可以维持微镜芯片的偏转角度，所述叠加信号的幅值电压更小，对于微镜芯片偏转角度的影响更为显著，避免了由高压引起的器件损伤，可以增加微镜芯片的稳定性，延长微镜芯片的使用寿命。
一种控制偏转方法装置

[实用新型]一种大光窗角度和大扭转角度的扫描振镜驱动装置-CN202222245859.1有效
发明人：熊笔锋;马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及电磁扫描振镜技术领域，具体涉及一种大光窗角度和大扭转角度的扫描振镜驱动装置，包括振镜芯片结构和两个磁体组结构，磁体组结构包括下磁体和上磁体，一个磁体组结构的下磁体磁化方向为竖直向上，且该上磁体磁化方向为水平向右，另一个磁体组结构的下磁体磁化方向为竖直向下，且该上磁体磁化方向为水平向左，振镜芯片结构包括固定基座、可动框架、反射镜面、外扭转轴和内扭转轴，可动框架与固定基座通过外扭转轴连接，反射镜面与可动框架通过内扭转轴连接，通过上述结构的设置，解决了对于电磁扫描振镜，针对磁驱动结构既要求较强的磁场强度，又要求大的磁场空间分布范围以实现大扭转角度，且保持大光窗角度的问题。
一种大光窗角度扭转扫描驱动装置

[发明专利]一种电磁振镜的驱动线圈及其制备方法-CN202211072284.6在审
发明人：熊笔锋;马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01F5/02 文献下载
摘要：本发明涉及振镜技术领域，具体涉及一种电磁振镜的驱动线圈及其制备方法，驱动线圈包括塑封层和多匝自粘线，塑封层包覆在多匝自粘线的表面，驱动线圈固定在电磁振镜的可动框架上，驱动振镜工作；塑封层裹覆在自粘线圈表面形成驱动线圈，有效的避免了自粘线圈在高温以及长时间工作后的粘接强度退化，甚至散线失效的问题，大幅提升了电磁扫描振镜的工作可靠性。
一种电磁驱动线圈及其制备方法

[发明专利]一种压缩整体高度尺寸的扫描振镜驱动装置-CN202211027656.3在审
发明人：熊笔锋;马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明涉及扫描振镜技术领域，具体涉及一种压缩整体高度尺寸的扫描振镜驱动装置；包括振镜芯片、磁驱动组件和支撑结构，振镜芯片包括镜面、锚定结构、扭转梁以及设有金属线圈的可动框架，扭转梁包括一对快轴梁和一对慢轴梁，磁驱动组件包括磁体组件和导磁组件，共同配合提供至少一个驱动磁场，其中一个方向的磁体组件位于振镜芯片下方，且导磁组件在引导磁感线分布的同时还作为芯片支撑结构与外壳使用，并未占用额外空间，因此本申请在大空间范围内提供较强的磁场强度的同时，将电磁振镜的整体高度尺寸压缩到极限，实现了降低激光雷达整机尺寸的技术效果，有助于提升激光雷达的市场竞争力。
一种压缩整体高度尺寸扫描驱动装置

[发明专利]一种大光窗角度和大扭转角度的扫描振镜驱动装置-CN202211027655.9在审
发明人：熊笔锋;马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及电磁扫描振镜技术领域，具体涉及一种大光窗角度和大扭转角度的扫描振镜驱动装置，包括振镜芯片结构和两个磁体组结构，磁体组结构包括下磁体和上磁体，一个磁体组结构的下磁体磁化方向为竖直向上，且该上磁体磁化方向为水平向右，另一个磁体组结构的下磁体磁化方向为竖直向下，且该上磁体磁化方向为水平向左，振镜芯片结构包括固定基座、可动框架、反射镜面、外扭转轴和内扭转轴，可动框架与固定基座通过外扭转轴连接，反射镜面与可动框架通过内扭转轴连接，通过上述结构的设置，解决了对于电磁扫描振镜，针对磁驱动结构既要求较强的磁场强度，又要求大的磁场空间分布范围以实现大扭转角度，且保持大光窗角度的问题。
一种大光窗角度扭转扫描驱动装置

[发明专利]一种散斑抑制方法、装置及激光微投影模组-CN201911252534.2有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G02B27/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种散斑抑制方法、装置及激光微投影模组。该方法包括：将入射的线偏振激光的S偏振分量反射出光学系统，使入射的所述线偏振激光中有且仅含有P偏振分量；对有且仅含有P偏振分量的线偏振激光进行分束，使其一部分被反射出光学系统，形成出射激光，另一部分在光学系统内继续传播；控制继续传播的线偏振激光偏振方向，并对其进行反射，使其偏振方向在P偏振和S偏振间反复变化；当继续传播的线偏振激光满足预设条件时，重复上述步骤，直至光能耗尽。该装置包括介质膜分束器、至少一个四分之一波片和至少一个反射镜，该激光微投影模组上述装置。本发明具有较好的散斑抑制效果、较小的光能损失、不增加系统功耗、制作工艺简单、性能稳定等优势。
一种抑制方法装置激光投影模组

[发明专利]一种晶圆级光学系统及应用其的激光微型投影设备-CN201911256481.1有效
发明人：马宏 -专利权人： 觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆级光学系统及应用其的激光微型投影设备，所述光学系统包括空间晶圆构成的光学框架结构和光学晶圆结构；所述空间晶圆构成的光学框架结构为多个半导体晶圆通过半导体加工技术堆叠形成的支撑结构，用于支撑所述光学晶圆结构；所述光学晶圆结构与所述空间晶圆构成的光学框架结构键合；所述光学晶圆结构包括与所述空间晶圆键合的光学晶圆本体，以及在所述光学晶圆表面形成的光学结构。
一种晶圆级光学系统应用激光微型投影设备

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