[发明专利]非易失性存储器件

摘要

一种非易失性存储器件包括：衬底；存储单元串，包括垂直沟道结构和存储单元；电压发生器，包括第一晶体管，并且被配置为向所述存储单元提供各种电压；和垂直电容器结构。所述垂直电容器结构包括：第一有源图案和第二有源图案，布置为在第一水平方向上彼此分开；第一栅极图案，位于所述第一有源图案和所述第二有源图案之间的沟道区上方；第一栅极绝缘膜，在垂直方向上位于所述第一栅极图案和所述衬底之间；和电容器电极，均在所述垂直方向上延伸。所述第一晶体管包括第二栅极图案和在所述垂直方向上位于所述第二栅极图案和所述衬底之间的第二栅极绝缘膜。所述第一栅极绝缘膜在所述垂直方向上的厚度大于所述第二栅极绝缘膜在所述垂直方向上的厚度。