[发明专利]圆板状工件的加工方法有效
| 申请号： | 201911233068.3 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN111283548B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 井上雄贵 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/005;B24B49/02;H01L21/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供圆板状工件的加工方法，在对圆板状工件进行加工的情况下，研磨后的圆板状工件的厚度均匀。工件的加工方法包含如下的工序：使圆板状工件保持于工作台(5)；使工件和磨削磨轮(304)旋转，利用磨具对工件进行磨削；在磨削后使工件和研磨垫(44)旋转，在研磨垫(44)覆盖工件的状态下进行研磨；在研磨后，在工件的中心的第1测定点(P1)和工件的外周缘附近的第2测定点(P2)这至少2个点处测定工件厚度；根据测定出的两个测定点(P1、P2)处的工件厚度来识别工件径向上的厚度倾向；以及根据识别出的厚度倾向，变更使磨削磨轮(304)旋转的旋转轴(300)与工作台(5)的旋转轴(571)的倾斜关系。 | ||
| 搜索关键词： | 圆板状 工件 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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