[发明专利]化学液供应装置及半导体设备在审
| 申请号： | 201911221421.6 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112892344A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 代迎伟;李军世;金一诺;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/04 | 分类号： | B01F13/04;B01F15/00;B01F15/02;B01F3/08 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学液供应装置及半导体设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的内部空间，液体管路用于连通化学液供应单元和混合腔体，液体管路的数量与化学液供应单元的数量相对应。本发明相较于传统的双套管连接方式，可以极大减少管路安装工作量及成本、提高设备稳固性。相较于现有技术，本发明的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 供应 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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