[发明专利]对应力不敏感的MEMS电容式Z轴加速度计有效
| 申请号： | 201911125779.9 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110824196B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 周铭;鞠莉娜;黄艳辉;白小丽 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 耿英 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对应力不敏感的MEMS电容式Z轴加速度计，敏感单元包含衬底、可动质量块、固定梳齿、定齿锚点、支撑梁和中心锚点；可动质量块经两支撑梁悬挂于中心锚点，中心锚点固定于衬底上；可动质量块以支撑梁为扭转轴，分布在支撑梁两侧的可动质量块具有质量差；中心锚点两侧的衬底上设置有以支撑梁为对称的定齿锚点，固定梳齿设置在定齿锚点上；可动质量块朝向定齿锚点的方向设有可动梳齿，可动梳齿配合地插设在固定梳齿之间，在中心锚点两侧各形成一组梳齿电容。本发明的对应力不敏感的MEMS电容式Z轴加速度计，具有线性度好、温度漂移小、长期稳定性好、不显著增加制造难度等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 敏感 mems 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
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