[发明专利]一种压电式MEMS声传感器有效
| 申请号： | 201911117499.3 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110793708B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴鹏程;曾怀望;张永平;焦文龙 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 廖天云 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种压电式MEMS声传感器，包括基底、内部电极区及外部电极区，外部电极区位于内部电极区的外围，所述内部电极区与外部电极区均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层、中间电极、下压电层和底电极；内部电极区中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔；在基底的顶部设置有下支撑层，内部电极区及外部电极区均位于下支撑层上，在内部电极区及外部电极区的顶面均设置有由硅基材料制成的上支撑层。本发明具有的灵敏度高，耐静水压能力增强：能使MEMS声传感器满足不同耐压及工作水深的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压电式MEMS声传感器，包括基底(1)、内部电极区(13)及外部电极区(12)，外部电极区(12)位于内部电极区(13)的外围，其特征在于，所述内部电极区(13)与外部电极区(12)均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层(4)、中间电极、下压电层(3)和底电极；内部电极区(13)中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区(12)中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔；在基底的顶部设置有下支撑层(2)，内部电极区(13)及外部电极区(12)均位于下支撑层(2)上，在内部电极区(13)及外部电极区(12)的顶面均设置有上支撑层(5)。/n
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