[发明专利]一种压电式MEMS声传感器有效

专利信息
申请号: 201911117499.3 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN110793708B 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 吴鹏程;曾怀望;张永平;焦文龙 申请(专利权)人: 联合微电子中心有限责任公司
主分类号: G01L9/08 分类号: G01L9/08
代理公司: 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 代理人: 廖天云
地址: 401332 重庆*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明提供的一种压电式MEMS声传感器,包括基底、内部电极区及外部电极区,外部电极区位于内部电极区的外围,所述内部电极区与外部电极区均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层、中间电极、下压电层和底电极;内部电极区中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔;在基底的顶部设置有下支撑层,内部电极区及外部电极区均位于下支撑层上,在内部电极区及外部电极区的顶面均设置有由硅基材料制成的上支撑层。本发明具有的灵敏度高,耐静水压能力增强:能使MEMS声传感器满足不同耐压及工作水深的应用需求。
搜索关键词: 一种 压电 mems 传感器
【主权项】:
1.一种压电式MEMS声传感器,包括基底(1)、内部电极区(13)及外部电极区(12),外部电极区(12)位于内部电极区(13)的外围,其特征在于,所述内部电极区(13)与外部电极区(12)均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层(4)、中间电极、下压电层(3)和底电极;内部电极区(13)中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区(12)中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔;在基底的顶部设置有下支撑层(2),内部电极区(13)及外部电极区(12)均位于下支撑层(2)上,在内部电极区(13)及外部电极区(12)的顶面均设置有上支撑层(5)。/n
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  • 2022-04-20 - 2022-08-23 - G01L9/08
  • 本实用新型公开了一种蓝宝石压力传感器,包括压力传感器本体和辅助清洁组件,所述压力传感器本体的外部下方设置有过程连接头,且过程连接头的内壁从上往下依次安装有蓝宝石敏感元件和钛合金测量膜片,所述压力传感器本体的外部一侧设置有通讯接口。该蓝宝石压力传感器,与现有的普通压力传感器相比,蓝宝石敏感元件由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象,蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性,利用蓝宝石制造的蓝宝石敏感元件,对温度变化不敏感,即使在高温条件下,也有着很好的工作特性,蓝宝石的抗辐射特性极强,另外,蓝宝石敏感元件无p‑n漂移,因此,从根本上简化了制造工艺,提高了重复性,确保了高成品率。
  • 面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法-202110408510.2
  • 杨斌;甄丽云;易志然;刘景全 - 上海交通大学
  • 2021-04-16 - 2022-08-16 - G01L9/08
  • 本发明提供一种面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法,包括:设置于衬底上的聚合物绝缘层,用于隔离衬底和上电极层;设置于衬底上的压电敏感层,压电敏感层包括呈阵列式排布的若干压电敏感单元,若干压电敏感单元相互分离,用于采集叶尖间隙高频气体脉冲压力信号,并将采集的信号的变化转换为电压或电荷的变化;设置于聚合物绝缘层上的上电极层,且上电极层的电极点的下表面分别与压电敏感单元的上表面相贴;上电极层用于与外部电荷放大电路或测试电路导通,以实时监测传感器的电压或电荷变化;设置于上电极层上方用于密封和保护器件的封装层。本发明结构设计及加工工艺简单,具有超薄的器件厚度、宽频响应、高灵敏度以及高分辨率。
  • 一种小直径压力传感器-202220070622.1
  • 宗兴军 - 江西新力传感科技有限公司
  • 2022-01-12 - 2022-07-22 - G01L9/08
  • 本实用新型实施例提供的小直径压力传感器。测压时,被测介质通过金属壳体的压腔进入,倒装芯片感知压力数据并传递压力信号,通过PCBA放大板作用成标准的电流、电压信号,通过引出线输出压力信号。通过利用倒装焊压力烧结底座体积小特点,设计传感器封装结构,无传压油以及膜片等结构,大幅降低传感器的整体尺寸,使得本实用新型提供的小直径压力传感器可嵌入到精细的仪表或设备中。
  • 一种燃料电池系统用防结冰压力传感器-202122336663.9
  • 戴文广;徐鹏程;杨留锁 - 沃尔特电子(苏州)有限公司
  • 2021-09-26 - 2022-07-19 - G01L9/08
  • 本实用新型公开了一种燃料电池系统用防结冰压力传感器,包括主壳体及安装在主壳体上的监测探头;所述监测探头的内部设有储液腔室,所述储液腔室内充满有传压液体且储液腔室的开口端通过受压膜密封,所述受压膜与所述传压液体直接接触,所述受压膜上设有多条用于防止凝结水聚集在其表面上的压痕,所述监测探头上还固定有伸入储液腔室内部的压敏元件,所述受压膜的外表面与待监测气体直接接触,所述受压膜将其所受来自待监测气体的压力传递至所述传压液体,所述传压液体将其所受压力传递至压敏元件,所述压敏元件将其所受压力转换成压力信号后输出;本实用新型有效解决了传统的压力传感器在低温环境下,因凝露结冰导致的无法正常工作的问题。
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