[发明专利]压电元件的制备方法及用于制备压电元件的预制组件在审
申请号: | 201911090028.8 | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN112786778A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 刘伟 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 |
主分类号: | H01L41/27 | 分类号: | H01L41/27;H01L41/312;H01L41/257 |
代理公司: | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人: | 范胜祥 |
地址: | 330013 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本申请公开了一种压电元件的制备方法及用于制备压电元件的预制组件,制备方法包括:制备一个或多个第一基材薄膜,各第一基材薄膜的其中一个表面均分别设置有多个第一电极,制备一个或多个第二基材薄膜,各第二基材薄膜的其中一个表面均分别设置有多个第二电极;将各第一基材薄膜与各第二基材薄膜交替层叠设置且压合形成预制组件;将预制组件切割成多个压电元件,且切割路径平行于第一基材薄膜,每个压电元件中,第一电极的数量等于第一基材薄膜的数量,第二电极的数量等于第二基材薄膜的数量。本方法中,仅需要将各第一基材薄膜和各第二基材薄膜压合一次即可得到多个压电元件,大大降低了制备压电元件时的操作步骤,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 制备 方法 用于 预制 组件 | ||
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