[发明专利]一种超高分辨率微显示屏及其制造工艺在审
| 申请号： | 201911074409.7 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110660897A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 朱涛 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥视微科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/62 | 分类号： | H01L33/62;H01L21/683;H01L25/13 |
| 代理公司： | 32295 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 田媛 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超高分辨率微显示屏及其制造工艺，该工艺通过在驱动背板上提前预设隔离柱和导电焊料，通过将驱动背板与LED外延片进行免对位压合，再对LED外延片进行曝光、显影，形成多个LED发光结构，该方法无需对进行精准对位，像素缺陷少；本发明的微显示屏的LED单元嵌入在导电焊料之中，具有较高的焊接粘结力，可提高显示屏的可靠性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 导电焊料 驱动背板 微显示屏 超高分辨率 精准对位 像素缺陷 制造工艺 隔离柱 粘结力 对位 显影 压合 预设 显示屏 焊接 嵌入 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种超高分辨率微显示屏的制造工艺，其特征在于包括：/n提供一驱动背板，在该驱动背板一侧表面的部分区域预留多个窗口，多个窗口之间设有金属垫；/n在各所述的窗口位置设置隔离柱，多个所述的隔离柱将所述的驱动背板分隔成多个芯片区；/n提供一LED外延片，所述的LED外延片包括衬底和生长在衬底上的多层半导体功能材料；/n在多个所述的芯片区设置导电焊料；/n将所述的LED外延片与所述的驱动背板进行免对位压合；/n去除LED外延片的衬底，对所述的LED外延片进行曝光、显影，使所述的芯片区形成多个LED发光结构。/n
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