[发明专利]一种湿敏元件及其制备工艺在审
| 申请号： | 201911070795.2 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110927001A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈贵东;毛海央;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李亚南 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种湿敏元件及其制备工艺。本发明中的湿敏元件包括：晶振片，设置于晶振片的一侧面表层的湿敏材料层；所述湿敏材料层由燃料燃烧过程中的火焰顶端部位沉积形成的烛灰纳米颗粒结构构成，且烛灰纳米颗粒结构的表层经过亲水性处理。本发明产品具有制备简单、成本低廉；并且采用本发明工艺制备的传感器具有响应时间短、灵敏度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 元件 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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