[发明专利]一种晶片镀膜设备在审
| 申请号： | 201911044259.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110777348A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 庄仕伟 | 申请（专利权）人： | 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体加工领域，具体涉及一种晶片镀膜设备，包括盘体，所述盘体上具有若干个放置晶片的开口，所述开口内缘设置有磁性环，所述承载盘还具有磁性承载架，所述磁性承载架承载晶片，磁性承载架一端与磁性环的上表面接触，磁性承载架上设有通孔，所述通孔内设有弹片，弹片设置为弧形，磁性环上设有卡柱，卡柱在通孔内滑动并与弹片抵接，磁性承载架另一端与晶片的磁吸附性区接触，本发明通过磁性吸附晶片将其固定于承载盘上，并同时通过磁性吸附使翘曲晶片变平，防止镀源蒸镀到晶片的正面。 | ||
| 搜索关键词： | 承载架 晶片 磁性环 弹片 通孔 磁性吸附 承载盘 卡柱 盘体 半导体加工领域 承载晶片 磁吸附性 镀膜设备 放置晶片 开口内缘 滑动 上表面 变平 抵接 镀源 翘曲 蒸镀 种晶 开口 | ||
【主权项】：
1.一种晶片镀膜设备，其特征在于，包括盘体（10），所述盘体（10）上具有若干个放置晶片的开口（11），所述开口（11）内缘设置有磁性环（20），所述承载盘还具有磁性承载架（30），所述磁性承载架（30）承载晶片，磁性承载架（30）一端与磁性环（20）的上表面接触，磁性承载架（30）上设有通孔（31），所述通孔（31）内设有弹片（32），弹片（32）设置为弧形，磁性环（20）上设有卡柱（22），卡柱（22）在通孔（31）内滑动并与弹片（32）抵接，磁性承载架（30）另一端与晶片的磁吸附性区接触。/n
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- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括一维转动盘，一维转动盘上装有动力输入轴，沿一维转动盘的圆周装有多个转杆，每个转杆上固装有镀膜工件圆盘，与一维转动盘平行的圆环形盖板装在所述多个转杆的顶端，还包括有与一维转动盘平行且位于其下方的定齿盘，所述动力输入轴通过定齿盘轴承装于定齿盘的中心位置，动力输入轴的输入端伸至定齿盘的下方；多个所述转杆分别通过转杆轴承间隔均布装在一维转动盘的圆周上，每个转杆的顶端具有转杆轴，每个转杆以其顶端的转杆轴可转动地装在所述圆环形盖板上，每个转杆的底端固装有与所述定齿盘相啮合的底齿轮。应用本实用新型后对工件的镀膜效率较高、工件表面所镀膜层也相对均匀。
- 用于真空镀膜机的三维镀膜转架-201920796104.6
- 关秉羽 - 辽宁鑫金铂科技有限公司
- 2019-05-30 - 2020-01-31 - C23C14/50
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的三维镀膜转架，包括一维转动盘，一维转动盘的中心位置固装有动力输入轴，一维转动盘上装有多个转杆，转杆上固装有镀膜工件圆盘，镀膜工件圆盘上装有多个镀膜工件插筒，与一维转动盘平行的圆环形盖板装在多个转杆的顶端，还包括有位于一维转动盘下方的定齿盘；多个所述转杆分别通过转杆轴承装在一维转动盘的圆周上，每个转杆的底端固装有与定齿盘相啮合的底齿轮；每个镀膜工件插筒的底部具有插筒轴，插筒轴的底端固装有插筒齿轮；还包括有固装在一维转动盘圆周上的拨杆，拨杆上固装有齿轮拨片。使用本实用新型镀膜时镀膜效率高、工件表面所镀膜层更加均匀。
- 真空镀膜夹具-201911191560.9
- 陈君 - 宁波涂冠镀膜科技有限公司
- 2019-11-28 - 2020-01-24 - C23C14/50
- 本申请涉及一种真空镀膜夹具，包括：底盘；驱动机构，与所述底盘连接以驱动所述底盘旋转；支架，设置在所述底盘上用以夹持目标物且至少设置有两个；每个所述支架可相对于所述底盘径向移动以调节至少两个所述支架之间的距离。本申请的支架可相对于底盘径向移动以调节支架之间的距离，从而用以夹持不同大小的目标物，快捷方便。
- 基板载具、溅镀装置及溅镀方法-201811386969.1
- 刘洪胜 - 深圳市华星光电技术有限公司
- 2018-11-20 - 2020-01-21 - C23C14/50
- 本发明提供一种基板载具、溅镀装置及溅镀方法。本发明的基板载具包括框状的本体，本体的内侧面设有多个通槽，每一通槽的两端分别连接本体的第一端面及第二端面，每一通槽包括沿第一端面及第二端面排列方向依次设置的第一区及第二区，每一通槽在第一区的槽深大于在第二区的槽深，溅镀时，基板覆盖本体的内侧面围成的开口且与多个通槽交叠，基板的边缘与本体的内侧面间的距离为一预设距离，该预设距离大于通槽在第二区的槽深且小于通槽在第一区的槽深，能够降低基板与基板载具之间的重叠区域的面积，扩大溅镀制程中基板的有效成膜面积。
- 一种真空镀膜机的基材旋转装置-201920066719.3
- 蒋建华;向毅 - 昆山金百辰金属科技有限公司
- 2019-01-16 - 2020-01-21 - C23C14/50
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机的基材旋转装置，其技术方案要点是：包括固定在所述镀膜室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部，利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序。
- 一种筒件的真空镀膜夹具-201920067034.0
- 蒋建华;向毅 - 昆山金百辰金属科技有限公司
- 2019-01-16 - 2020-01-21 - C23C14/50
- 本实用新型公开了一种筒件的真空镀膜夹具，其技术方案要点是：包括固定在真空箱体顶部的第一伺服电机，还包括：转动连接在所述真空箱体的内部的第一固定杆，所述第一伺服电机驱动所述第一固定杆转动；铰接在所述第一固定杆底端的第一固定盘，所述第一固定杆上铰接有气缸的缸体，所述气缸的活塞杆端部铰接在第一固定盘上；滑移连接在所述第一固定盘下方的第二固定盘，所述第一固定盘上固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的电机轴端部连接有螺杆，所述螺杆与所述第二固定盘之间螺纹连接；筒件的真空镀膜夹具能够改变中空镀膜过程中筒件的位置和角度，使得其外壁膜层涂镀的更加均匀，利用固定部可以将筒件牢靠的固定在装置上。
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