[发明专利]晶体生长悬浮提拉炉在审
| 申请号： | 201911036220.9 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110629280A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 邾根祥;朱沫浥;王伟;安唐林 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B15/30;C30B29/02 |
| 代理公司： | 34155 合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王芸 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶生长悬浮提拉炉，包括水冷铜坩埚、不锈钢腔室、感应射频电源、整体电路控制装置、水冷机、抽真空组件、提拉机构和坩埚升降机构；水冷铜坩埚设在不锈钢腔室内部并与其滑动连接，不锈钢腔室底部设有坩埚升降机构，坩埚升降机构锈钢腔室密封连接，坩埚升降机构上端与水冷铜坩埚连接，不锈钢腔室外侧与抽真空组件连接，抽真空组件安装在支架上，本发明相对于以往的晶体生长炉结构小，各方面功能可以精确控制，适合用研究所和各大院校针对金属晶体的研究，各个控制部分采用模块化，可自由进行选择，为金属单晶生长的研究提供了更大的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚升降机构 不锈钢 抽真空组件 水冷铜坩埚 腔室 晶体生长炉 单晶生长 滑动连接 金属单晶 金属晶体 控制装置 腔室密封 腔室内部 射频电源 提拉机构 整体电路 模块化 水冷机 提拉炉 上端 锈钢 支架 悬浮 研究 院校 生长 自由 | ||
【主权项】：
1.一种单晶生长悬浮提拉炉，包括水冷铜坩埚、不锈钢腔室、感应射频电源、整体电路控制装置、水冷机、抽真空组件、提拉机构和坩埚升降机构；其特征在于：所述水冷铜坩埚设在不锈钢腔室内部并与其滑动连接，不锈钢腔室底部设有坩埚升降机构，坩埚升降机构锈钢腔室密封连接，坩埚升降机构上端与水冷铜坩埚连接，所述不锈钢腔室外侧与抽真空组件连接，抽真空组件安装在支架上，所述抽真空组件、水冷机、不锈钢腔室、感应射频电源、提拉机构及坩埚升降机构通过整体电路控制装置进行控制。/n
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