[发明专利]晶体生长悬浮提拉炉在审
| 申请号： | 201911036220.9 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110629280A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 邾根祥;朱沫浥;王伟;安唐林 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B15/30;C30B29/02 |
| 代理公司： | 34155 合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王芸 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚升降机构 不锈钢 抽真空组件 水冷铜坩埚 腔室 晶体生长炉 单晶生长 滑动连接 金属单晶 金属晶体 控制装置 腔室密封 腔室内部 射频电源 提拉机构 整体电路 模块化 水冷机 提拉炉 上端 锈钢 支架 悬浮 研究 院校 生长 自由 | ||
1.一种单晶生长悬浮提拉炉，包括水冷铜坩埚、不锈钢腔室、感应射频电源、整体电路控制装置、水冷机、抽真空组件、提拉机构和坩埚升降机构；其特征在于：所述水冷铜坩埚设在不锈钢腔室内部并与其滑动连接，不锈钢腔室底部设有坩埚升降机构，坩埚升降机构锈钢腔室密封连接，坩埚升降机构上端与水冷铜坩埚连接，所述不锈钢腔室外侧与抽真空组件连接，抽真空组件安装在支架上，所述抽真空组件、水冷机、不锈钢腔室、感应射频电源、提拉机构及坩埚升降机构通过整体电路控制装置进行控制。
2.根据权利要求1所述的晶体生长悬浮提拉炉，其特征在于：水冷铜坩埚采用16个水冷铜瓣组成，最大熔样品量为60g。
3.根据权利要求1所述的晶体生长悬浮提拉炉，其特征在于：不锈钢水冷真空腔室采用304不锈钢双层水冷腔体，确保设备工作时表明温度≤40℃，腔体上有观察窗口、四芯陶峰电机、真空压力表及抽真空孔，抽真空孔与抽真空组件连通。
4.根据权利要求1所述的晶体生长悬浮提拉炉，其特征在于：抽真空部分，采用分子泵系统，真空泵和电动插板阀对腔体进行抽真空。
5.根据权利要求1所述的晶体生长悬浮提拉炉，其特征在于：所述提拉机构带水冷，水冷内制冷也通过水冷机输送，提拉机构具有手动和自动两种模式。
6.根据权利要求1所述的晶体生长悬浮提拉炉，其特征在于：坩埚升降机构，采用动密封系统，通过手摇微调坩埚上下的位置，调整坩埚与感应线圈的距离，确保熔炼时合适的磁场和观察角度。
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