[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201911026025.8 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN111190027A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 松浦由幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及固定电极，固定于所述基板，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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