[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及固定电极，固定于所述基板，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

专利文献1所记载的物理量传感器是能够检测加速度的加速度传感器，具有基板和固定于基板的器件基板。另外，器件基板具有：固定于基板的固定部；经由弹簧与固定部连接，能够相对于基板在旋转方向上位移的可动部；设置于可动部的可动电极指；固定于基板，与可动电极指相对配置的固定电极指。在这样的结构的物理量传感器中，如果施加加速度，则可动部在旋转方向上位移，能够基于伴随该位移的可动电极指与固定电极指之间的静电电容的变化来检测受到的加速度。

专利文献1：特开2017-67579号公报

在此，作为提高加速度的检测灵敏度的方法，有使受到加速度时可动的部分即由可动部以及可动电极指构成的可动体的质量增加的方法，作为使可动体的质量增加的方法，有增厚器件基板的方法。然而，如果使器件基板的厚度在其整个区域中均匀地变厚，则可动电极指以及固定电极指也变厚，可动电极指与固定电极指之间的粘性阻力增大，可动电极指的阻尼增大。因此，伴随可动体的质量增加而提高的检测灵敏度被可动电极指的阻尼增加所抵消，无法有效地提高检测灵敏度。

发明内容

本发明的物理量传感器，其特征在于，在将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，所述物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向的基板；以及传感器元件，设置于在所述基板上，并检测物理量的传感器元件，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移的可动部；以及固定电极，固定于所述基板的固定电极，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置的可动电极；以及质量部，支撑支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。

图2是图1中的A-A线剖视图。

图3是表示第一可动电极指以及第一固定电极指的俯视图。

图4是表示第二可动电极指以及第二固定电极指的俯视图。

图5是图1中的B-B线剖视图。

图6是图1中的C-C线剖视图。

图7是表示用于说明本发明的效果的模型的立体图。

图8是图1中的D-D线剖视图。

图9是图1中的E-E线剖视图。

图10是表示图1所示的物理量传感器的制造工序的图。

图11是用于说明图1所示的物理量传感器的制造方法的剖视图。

图12是用于说明图1所示的物理量传感器的制造方法的剖视图。

图13是用于说明图1所示的物理量传感器的制造方法的剖视图。

图14是用于说明图1所示的物理量传感器的制造方法的剖视图。

图15是表示本发明的第二实施方式涉及的物理量传感器的剖视图。

图16是表示本发明的第二实施方式涉及的物理量传感器的剖视图。