[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

在将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，所述物理量传感器具有：

基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及

传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，

所述传感器元件具有：

可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及

固定电极，固定于所述基板，

所述可动部具有：

可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及

质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述质量部的沿着所述Z轴方向的长度比所述固定电极长。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动电极和所述固定电极的沿着所述Z轴方向的长度相等。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述传感器元件具有：

固定部，固定于所述基板；以及

弹簧，连接所述固定部与所述可动部。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

所述弹簧的沿着所述Z轴方向的方向的长度比所述质量部短。

6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述固定电极具有在沿着Y轴的方向上排列配置的第一固定电极以及第二固定电极，

所述第一固定电极具有：

第一主干部；以及

多个第一固定电极指，从所述第一主干部向沿着所述Y轴的方向的两侧延伸，

所述第二固定电极具有：

第二主干部；以及

多个第二固定电极指，从所述第二主干部向沿着所述Y轴的方向的两侧延伸。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一主干部以及所述第二主干部分别沿着相对于所述X轴以及所述Y轴倾斜的轴延伸。

8.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一主干部以及所述第二主干部相对于所述X轴呈线对称。

9.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

从所述第一主干部向所述第二主干部侧延伸的所述第一固定电极指以及从所述第二主干部向所述第一主干部侧延伸的所述第二固定电极指分别沿着所述X轴配置有多个，并且所述Y轴方向的长度朝向沿着所述X轴的方向的一侧逐渐增加，

从所述第一主干部向与所述第二主干部相反的一侧延伸的所述第一固定电极指以及从所述第二主干部向与所述第一主干部相反的一侧延伸的所述第二固定电极指分别沿着所述X轴配置有多个，所述Y轴方向的长度朝向沿着所述X轴的方向的另一侧逐渐增加。

10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动电极指位于在X轴方向上相邻的一对所述第一固定电极指之间，

一个所述第一固定电极指与所述可动电极指的分离距离与另一个所述第一固定电极指与所述可动电极指的分离距离不同，

所述可动电极指位于在X轴方向上相邻的一对所述第二固定电极指之间，

一个所述第二固定电极指与所述可动电极指的分离距离与另一个所述第二固定电极指与所述可动电极指的分离距离不同。

11.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1所述的物理量传感器。

12.一种移动体，其特征在于，

具有权利要求1所述的物理量传感器。