[发明专利]正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法有效
| 申请号： | 201910932300.6 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110631483B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 常素萍;吴昊;卢文龙;赵言情;刘晓军 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 张彩锦;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于精密测量领域，并公开了正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法，其包括分光棱镜、分设于分光棱镜左右两侧的激光器和第一平面反射镜、分设于分光棱镜上下两侧的干涉信号探测器和正交透射光栅、位于正交透射光栅下方的第二平面反射镜以及位于第二平面反射镜上方且呈正交布置的四个光斑位置探测器，第二平面反射镜安装在待测的磁浮触针结构上；所述检测仪包括偏转角度计算模块、位移计算模块及所述正交光栅三自由度磁浮测量传感器；所述检测方法由所述检测仪实现。本发明可实现两个方向的偏转角度的同时测量，对触针磁浮轴支撑刚度进行电流反馈，从而使得垂直方向的直线位移精确计量，具有结构紧凑、测量精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 正交 光栅 自由度 测量 传感器 检测 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正交光栅三自由度磁浮测量传感器，其特征在于，包括分光棱镜(2)、分设于分光棱镜(2)左右两侧的激光器(14)和第一平面反射镜(3)、分设于分光棱镜(2)上下两侧的干涉信号探测器(1)和正交透射光栅(4)、位于正交透射光栅(4)下方的第二平面反射镜(6)以及位于第二平面反射镜(6)上方且呈正交布置的四个光斑位置探测器(5)，所述第二平面反射镜(6)安装在待测的磁浮触针结构上；测量时，由激光器(14)发射的激光经分光棱镜(2)分为正交的两路光输出，即透射光和反射光，其中，透射光经第一平面反射镜(3)反射返回分光棱镜(2)，再反射至干涉信号探测器(1)中，反射光经正交光栅(4)后形成一束0级直射光和四束±1级衍射光，一束0级直射光由第二平面反射镜(6)直接返回至干涉信号探测器(1)中，与反射至干涉信号探测器(1)中的透射光形成干涉条纹，而四束±1级衍射光分别经第二平面反射镜(6)反射到四个对应的光斑位置探测器(5)中以进行光斑位置的检测。/n
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