[发明专利]一种基于FSS结构的多参量传感器在审

专利信息
申请号: 201910929776.4 申请日: 2019-09-27
公开(公告)号: CN110726424A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 华昌洲;丁世宇;黄雪琴;郑雁公;陈益 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: G01D5/24 分类号: G01D5/24
代理公司: 33226 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 方小惠
地址: 315211 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于FSS结构的多参量传感器,包括介质基板和设置在介质基板上表面的辐射单元,辐射单元包括金属层和辐射槽结构,金属层附着在介质基板的上表面且将介质基板的上表面完全覆盖住,辐射槽结构通过在金属层上开槽形成一个FSS结构实现,辐射槽结构具有三个分别处于不同频率下的谐振点,当将待测参量的敏感材料加入辐射槽结构中时,待测参量的变化将导致待测参量的敏感材料的介电常数发生变化,待测参量的敏感材料的介电常数的变化则会导致辐射槽结构中对应的谐振点的谐振频率产生偏移,根据谐振点的谐振频率偏移大小情况即可判断待测参量属性的变化,实现多参量测量;优点是结构比较简单,成本较低且易于小型化。
搜索关键词: 辐射槽 参量 介质基板 敏感材料 金属层 谐振点 辐射单元 介电常数 上表面 介质基板上表面 多参量传感器 谐振频率偏移 多参量测量 参量属性 结构实现 谐振频率 偏移 上开槽 附着
【主权项】:
1.一种基于FSS结构的多参量传感器,其特征在于在于包括介质基板和设置在所述的介质基板上表面的辐射单元,所述的介质基板为正方形板,所述的辐射单元包括金属层和辐射槽结构,所述的金属层的外部尺寸与所述的介质基板的外部尺寸完全相同,所述的金属层附着在所述的介质基板的上表面且将所述的介质基板的上表面完全覆盖住,所述的辐射槽结构通过在所述的金属层上开槽形成一个FSS结构实现,所述的介质基板的上表面暴露在所述的辐射槽结构处,所述的辐射槽结构具有三个分别处于不同频率下的谐振点,当将待测参量的敏感材料加入所述的辐射槽结构中时,待测参量的变化将导致待测参量的敏感材料的介电常数发生变化,待测参量的敏感材料的介电常数的变化则会导致所述的辐射槽结构中对应的谐振点的谐振频率产生偏移,根据谐振点的谐振频率偏移大小情况即可判断待测参量属性的变化,实现多参量测量。/n
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