[发明专利]原料供给方法和单晶硅的制造方法在审
| 申请号： | 201910922845.9 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110983439A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 八木大地;片野智一;金原崇浩 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/02;C30B15/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张桂霞;杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供原料供给方法，具备以下工序：调整加热石英坩埚的加热器的功率以使硅熔液的表面固化的固化工序；向表面的固化部分投入固体原料的投入工序；以及熔解固化部分和固体原料的熔解工序，其中，固化工序是基于在以往单晶硅的制造时实施使籽晶着液于硅熔液的着液工序时的加热器的功率值，来调整该固化工序的加热器的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 原料 供给 方法 单晶硅 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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