[发明专利]一种运用AI和大数据管理的半导体制造缺陷自动管理方法在审
申请号: | 201910910469.1 | 申请日: | 2019-09-25 |
公开(公告)号: | CN110717898A | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 沈剑 | 申请(专利权)人: | 上海众壹云计算科技有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06K9/62 |
代理公司: | 11616 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人: | 任娜娜 |
地址: | 200000 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种运用AI和大数据管理的半导体制造缺陷自动管理方法,包括以下步骤:一、当缺陷检测以及review(拍照)完成后,由AI模型-1运行平台自动读取review结果并进行分类,其中拍照设置为20秒100张图片;二、分类完成后,由系统对缺陷问题是否超设定阈值进行判定;三、对超阈值的问题,触发分析命令给到:a1、数据中台:调取所需的工程数据,本发明目的在于提供一个基于AI和大数据管理的缺陷管理平台,通过大数据平台收集的海量数据信息,以及快速的读取检索,再配合以AI模型对数据分析挖掘能力进行深度开发,最后通过现有系统的整合,应用RPA技术自动对问题产品处置,使得该管理平台能够实现自动,准确,快速的缺陷管理。 | ||
搜索关键词: | 数据管理 缺陷管理 拍照 读取 半导体制造 分析命令 工程数据 管理平台 海量数据 缺陷检测 缺陷问题 深度开发 数据分析 问题产品 现有系统 运行平台 自动读取 自动管理 大数据 分类 触发 调取 整合 检索 判定 挖掘 配合 应用 图片 | ||
【主权项】:
1.一种运用AI和大数据管理的半导体制造缺陷自动管理方法,其特征在于,包括以下步骤:/n一、当缺陷检测以及review(拍照)完成后,由AI模型-1运行平台自动读取review结果并进行分类;/n二、分类完成后,由系统对缺陷问题是否超设定阈值进行判定;/n三、对超阈值的问题,触发分析命令;/n四、当分析完成后,分析结果输出到自动处理平台,平台根据设定好的处置流程,进行RPA操作,实现自动处理的实现。/n
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