[发明专利]一种多晶硅坩埚涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201910860626.2 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110577404A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 曾磊;张乃文;张玉玉;纪杨 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/622;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11253 北京中北知识产权代理有限公司 | 代理人： | 段秋玲 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅坩埚涂层及其制备方法，包括，氮化硅重量百分比为15‑25％，氧化剂重量百分比为5‑15％，粘合剂重量百分比为5‑20％，分散剂重量百分比为60‑70％。按比例称取氮化硅粉末、氧化剂、粘合剂和分散剂混合搅拌成均匀的混合液；混合液通过喷涂设备进行二次喷涂，均匀喷涂于坩埚内壁后低温烘干；低温烘干结束后，将坩埚放入烧结炉内900‑1000℃烧结2‑3小时，烧结完成后在1小时内降至室温25℃。所得氮化硅涂层与坩埚具有极佳的粘结力，附着牢固，不易脱落；氮化硅涂层厚度为200μm‑600μm，可以完全阻隔硅液与二氧化硅以及其他杂质发生反应，有效避免了坩埚及杂质对硅的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 重量百分比 坩埚 氧化剂 氮化硅涂层 粘合剂 低温烘干 烧结 分散剂 混合液 氮化硅粉末 二次喷涂 二氧化硅 均匀喷涂 喷涂设备 坩埚内壁 坩埚涂层 氮化硅 多晶硅 烧结炉 粘结力 称取 放入 硅液 附着 制备 阻隔 污染 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅坩埚涂层，包括：氮化硅，氧化剂，粘合剂，分散剂，其特征在于：氮化硅重量百分比为15-25％，氧化剂重量百分比为5-15％，粘合剂重量百分比为5-20％，分散剂重量百分比为60-70％。/n
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