[发明专利]针对处理管的管塞和处理单元在审
| 申请号： | 201910857889.8 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110886020A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·皮耶邱拉;尼克莱·兹卡久 | 申请（专利权）人： | 商先创国际股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张晓霞;臧建明 |
| 地址： | 德国布劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种针对处理管的管塞，所述处理管具有一个闭合的末端和一个敞开的末端，且在处理区域内具有第一内径、在与敞开末端相邻处具有更大的第二内径。所述处理管在敞开末端处具有第一抵靠边沿，并且在第一与第二内径之间的过渡处具有朝向敞开末端的第二抵靠边沿。所述管塞具有第一元件，其具有大于处理管的第二内径的第一外径并且包含环形抵靠面，适于抵靠在处理管的第一抵靠边沿上。所述管塞具有圆筒形的第二元件，其包含构成容置腔的第一侧壁和底部。所述第一侧壁具有小于处理管的第一内径的第二外径，以及从第一侧壁径向延伸的凸缘，所述凸缘适于抵靠在处理管的第二抵靠边沿上。本发明还提出一种包含处理管和前述类型的管塞的处理单元。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 处理 单元 | ||
【主权项】：
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- 本实用新型公开了一种成品率好的高安全性扩散炉，包括扩散炉本体、支腿、滚轮、限位槽和限位机构，所述扩散炉本体底部的左右两侧均固定连接有支腿，所述支腿的底部固定连接有滚轮，所述滚轮的表面环绕开设有若干个限位槽。本实用新型通过扩散炉本体、支腿、滚轮、限位槽、活动槽、伸缩杆、支撑板、移动槽、第一轴承、第一螺纹杆、第一把手、螺纹板、限位杆、第二轴承、第二螺纹杆、第二把手和螺纹块相互配合，解决了常见的扩散炉放置不够稳固的问题，工作时扩散炉底部的滚轮不容易发生滑动，从而有效避免造成意外事故的发生，极大提高了安全性，同时也极大提高了扩散炉工作时的稳定性，从而有效提高了成品率。
- 一种高温扩散炉用石英管-202120847293.2
- 陈文 - 苏州安融石英有限公司
- 2021-04-23 - 2021-11-30 - C30B31/10
- 本实用新型涉及一种高温扩散炉用石英管，包括石英管体，石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管进入管内，进气管口和排气管口关于石英管体对称设置，石英管体内设置有用于固定进气管和排气管的固定环和定位件，定位件包括轴对称设置的第一部分和第二部分，热电偶管口的延伸路径在第一部分和第二部分之间；第一部分和第二部分将热电偶的位置限定在石英管体的两壁部分，避免了热电偶与管体的底部相接触，一方面可以限定热偶管的位置，防止乱动，一方面使得热偶管紧贴石英管壁测量数据准确。避免干扰石英管体底部其他部件的安装。
- 一种可提升硅片方阻均匀性的扩散炉-202121128352.7
- 周继承;曾世魁 - 中南大学
- 2021-05-25 - 2021-11-09 - C30B31/10
- 本实用新型属于半导体扩散工艺设备领域，公开一种可提升硅片方阻均匀性的扩散炉，包括：炉门、炉体、进气管、出气管和隔热部，炉体一侧开口，炉门安装在炉体的开口处，炉门一端与炉体铰接，进气管和出气管分别与炉体连通，进气管至少为两个，炉体内靠近炉门一侧活动设置有隔热部。本方案可以使炉口气体浓度以及停留时间增加，并采用多路进气管，改善炉口处气体均匀性，提升了炉口附近硅片方阻扩散的均匀性。
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