[发明专利]一种高纯度三烷基锑及其制备方法与应用有效

专利信息
申请号: 201910845484.2 申请日: 2019-09-06
公开(公告)号: CN110483580B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 孙彤光;郭高伟;胡铭贺;曾翼俊;徐成 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: C07F9/90 分类号: C07F9/90;C23C16/18
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;宋静娜
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种高纯度三烷基锑的制备方法,本发明对现有用格氏试剂合成三甲基锑的方法进行了改进,先采用乙醚作为溶剂,快速合成格氏试剂,然后用高沸点溶剂替换格氏试剂中的低沸点乙醚,作为合成三甲基锑反应体系的唯一溶剂,大大降低了三烷基锑的纯化难度,简化了三烷基锑的制备工艺,缩短了制备时间,获得的三烷基锑达到6N纯度,无乙醚残留,可作为MO源用于MOCVD领域。同时,本发明的制备方法中,所用原料容易获得,溶剂可循环利用,降低了制备成本,制备过程可控性高,安全,适用于工业化生产。
搜索关键词: 一种 纯度 烷基 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
1.一种三烷基锑的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:/n(1)以金属镁、卤代烷和乙醚为反应原料,合成格氏试剂,合成完毕后,边蒸馏去除格氏试剂中的乙醚,边向格氏试剂中加入高沸点溶剂,直至乙醚蒸馏完全,得到含高沸点溶剂的格氏试剂;/n(2)以高沸点溶剂稀释三氯化锑,然后边搅拌边滴加入步骤(1)的含高沸点溶剂的格式试剂,合成三烷基锑;/n(3)将步骤(2)的三烷基锑合成液进行减压蒸馏,舍弃前5%~10%的馏分后,收集三烷基锑粗产品;/n(4)将步骤(3)收集的三烷基锑粗产品进行精馏,收集前馏分,前馏分的体积为三烷基锑粗产品体积的25%~35%,收集中馏分,中馏分的体积为三烷基锑粗产品体积的50%~65%,所述中馏分即为三烷基锑。/n
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