[发明专利]锍化合物、正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法有效
| 申请号： | 201910836697.9 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110878038B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 井上直也;大桥正树;土门大将;增永惠一;小竹正晃 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 何杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及锍化合物、正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法。本发明中新的锍化合物具有式(A)，包含聚合物和含有锍化合物的猝灭剂的正型抗蚀剂组合物在图案形成期间的分辨率和LER方面得以改进并且具有储存稳定性。在式(A)中，R |
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| 搜索关键词： | 化合物 正型抗蚀剂 组合 抗蚀剂 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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