[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 201910831430.0 申请日: 2019-09-03
公开(公告)号: CN111180444A 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 孙完基 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L49/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 纪雯
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种半导体器件,包括:多个下电极,在第一方向和以锐角与所述第一方向相交的第二方向上以第一间距重复地布置在衬底上;以及支撑图案,与所述多个下电极的侧壁接触并支撑所述多个下电极。所述支撑图案包括第一支撑区域和第二支撑区域,所述第一支撑区域具有穿透所述支撑图案的多个开口,且所述第二支撑区域设置在所述第一支撑区域的外围处。多个开口可以分别贯穿整个第一支撑区域以Z字形方式连续延伸。
搜索关键词: 半导体器件
【主权项】:
暂无信息
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