[发明专利]用于外延腔室的衬垫

摘要

本文公开的实施方式描述一种衬垫组件，该衬垫组件包括多个单独分开的气体通路。该衬垫组件提供跨正受处理的基板上的流动参数的控制，这些参数诸如流速、密度、方向与空间位置。利用根据本实施方式的衬垫组件，跨正受处理的基板的工艺气体可特定地经调整以用于单个的工艺。

主权项

1.一种用于衬垫组件的下衬垫，所述下衬垫包括：/n圆筒状下主体，所述圆筒状下主体具有：/n外表面和内表面；/n多个下入口，所述多个下入口形成为与所述圆筒状下主体相连，/n所述多个下入口被构造成形成多个气体通路与所述衬垫组件的上衬/n垫部分的多个上入口相结合；/n下排气通口，所述下排气通口定位成与所述多个下入口相对，并被构造成流体连接所述上衬垫的上排气通口；/n下交叉流通口，所述下交叉流通口定位成与所述下排气通口不平行，并被构造成流体连接所述上衬垫的上交叉流通口；以及/n热感测通口，所述热感测通口与所述下交叉流通口分开。/n