[发明专利]二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜有效
| 申请号： | 201910790001.3 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110499497B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 邓辉 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/513 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 刘方 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜，本发明属于二氧化钛纳米薄膜加工领域。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法包括如下步骤：S1、提供惰性气体；S2、对惰性气体进行耦合，同时对惰性气体点火，产生惰性气体的等离子体火炬；S3、向惰性气体的等离子体火炬的内部通入反应气体，产生含有反应气体的等离子体火炬；S4、通过含有反应气体的等离子体火炬作用样品表面。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法，其制备过程简单、易行，无二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化钛纳米薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1、提供惰性气体；/nS2、提供惰性气体的等离子体火炬；/nS3、向惰性气体的等离子体火炬的内部通入反应气体，产生含有反应气体的等离子体火炬；/nS4、通过含有反应气体的等离子体火炬作用样品表面。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
